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深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司

單面精密晶圓銅拋機(jī)

型號(hào):DL-ST855/4L

單面精密銅拋機(jī)為單面精密研磨設(shè)備,采用先進(jìn)的機(jī)械結(jié)構(gòu)和多種先進(jìn)控制方法。研磨加工效率高,運(yùn)行穩(wěn)定。

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單面精密晶圓銅拋機(jī)
設(shè)備優(yōu)勢(shì)

◎ 本設(shè)備為單面精密研磨設(shè)備,采用先進(jìn)的機(jī)械結(jié)構(gòu)和多種先進(jìn)控制方法。研磨加工效率高,運(yùn)行穩(wěn)定。


◎ 整機(jī)采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng),設(shè)備參數(shù)設(shè)置和操作簡(jiǎn)單方便,系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定性高。


◎ 主電機(jī)采用變頻調(diào)速控制,實(shí)現(xiàn)主機(jī)軟啟動(dòng)、軟停機(jī),降低設(shè)備運(yùn)行沖擊,減少工件損傷。


◎ 工件研磨壓力采用氣缸加壓方式,通過(guò)電氣比例閥控制實(shí)現(xiàn)壓力的閉環(huán)控制,保證極高的施壓精度與穩(wěn)定性。


◎ 上壓盤采用主動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式,在確保產(chǎn)品研磨速率的前提下保證各工位研磨加工的統(tǒng)一性。


◎ 研磨盤冷卻水冷卻功能,在保證研磨液發(fā)揮最大效率的同時(shí)減少研磨盤面的變形。


◎ 設(shè)備自帶盤面修整機(jī),盤面修整后可保證0.01mm的盤面平整度。


性能參數(shù)
參數(shù)名稱單位DL-ST855/4L
主電源V三相 380
主電機(jī)功率KW15
修面機(jī)功率KW0.2
修面速度mm/min0~180
主電機(jī)轉(zhuǎn)速RPM0~110
上盤驅(qū)動(dòng)電機(jī)轉(zhuǎn)速RPM0~70
研磨盤尺寸mm855
加工尺寸2-8
工作工位4
工件盤尺寸
mmΦ305x15
單工位壓力Kg20~300
拋光液流速L/min15(可調(diào))
主盤溫度檢測(cè)±5
設(shè)備尺寸(W x D x H)mm1200x2150x2250
設(shè)備重量Kg約2600
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晶圓銅拋機(jī)根據(jù)客戶不同的需求進(jìn)行定制,滿足不同客戶的需求,擁有專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),設(shè)備精度高,使用壽命高,負(fù)責(zé)上門安裝調(diào)試及培訓(xùn)

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